高纯特氟龙涂料遇上耐腐蚀的地方

半导体行业需要用于洁净室的高纯度特氟龙涂料。

当零件需要用于半导体行业的涂层时，客户并不总是告诉我们该零件将要执行的功能。他们通常会告诉我们，涂层需要耐腐蚀且高纯度。当然，我们假设该组件可以在工厂的“洁净室”中使用，在该洁净室中，即使是最小的颗粒也必须考虑在内。

半导体工厂希望对所有裸露的金属表面进行镀膜，因为金属或铁锈颗粒污染可能会破坏产品批次。半导体行业发现的涂层特性包括耐腐蚀，高纯度，高脱模性，化学惰性和易于清洁。常见的应用是含氟聚合物，例如Teflon™涂料和Xylan®涂料，以及Halar热塑性塑料。

什么是高纯特氟龙涂料？

高纯度的需求源于涂层的“不纯”微观颗粒可能漂浮在空气中并污染晶圆制造室的可能性。这些工厂甚至涂覆复合材料，例如碳化硅和石英衬底。这些复合材料已经具有很高的耐腐蚀性，但是制造商知道，易于清洁和维护的纯净，耐用的含氟聚合物涂层优于异物污染。

以下是半导体行业常用的组件以及行业首选的高纯度，耐腐蚀涂料：

安装框架– Halar（高建材）

储罐– PFA或FEP

加热线圈– PTFE

液体喷嘴– PFA或Halar

晶圆载具– PFA

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